半導体にÅ時代が来るのか?

 ベルギーの研究開発機関imecは、2017年5月16日と17日に開催した「imec Technology Forum」で、新たな半導体ロードマップを公開しました。そこには、2025年以降の実現を想定して「14Å(1.4nm)」という新しいプロセスノードが付け加えられました。この新しいプロセスノードは、サブnm時代への突入を意味しているわけではありません。しかし、あえてÅという原子の大きさや結晶の格子定数を示すことに使われる、これまでとは別の単位を持ち出して新たなプロセスノードを提示した点に、さらなる微細加工技術の開発に挑む決意と、挑戦すべき技術課題の共有を意図したimecのメッセージを強く感じます。

 日経テクノロジーオンラインのコラム、テクノ大喜利では、「半導体、Å時代はくるのか?」と題して、半導体のÅ時代の意義と、そこでの課題を洗い出すことを目的として議論しました。